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　　與物理量光電開關傳感器相比，化學量傳感器的一個重要特征在于檢測過程中一般會與測量環(huán)境之間發(fā)生物質的交換。對于大部分化學量傳感器來說，這種物質的交換過程往往伴隨著化學反應。顯然與能量交換的可逆性相比，化學反應的可逆性要差得多，往往會成為影響微傳感器響應特性、滯后、重復性乃至長期使用壽命等性能指標的重要因素。因此，如果從數值上來看，大部分化學量微傳感器的性能指標，尤其是使用壽命以及魯棒性方面，尚無法一物理量微傳感器相比，擺脫化學反應過程，利用物理方法檢測化學量，無疑是解決這一問題的最好方案。