接近傳感器是廣泛使用的，如汽車在多壓力測量，如壓力測量壓力測量，和輪胎系統(tǒng)，液壓系統(tǒng)和燃油系統(tǒng)，環(huán)境控制，如加熱，通風和空調(diào)的壓力測量，航空系統(tǒng)壓力測量和血壓測量動脈血壓測量。這里將在傳統(tǒng)接近傳感器采用了一種新的介觀壓阻效應的反應原理，即在共振隧穿電壓附近，通過四個物理過程，弱機械信號轉(zhuǎn)換為電信號的一種強。
基于共振隧穿膜代替?zhèn)鹘y(tǒng)的壓阻式應變計作為敏感元件的介觀壓阻效應，通過理論分析和仿真驗證該結構對傳感器的靈敏度和固有頻率的影響，從理論上證明了介觀壓阻效應的原理可以用于高壓力傳感器的靈敏度，擴大測量頻率范圍。
由于傳感元件和轉(zhuǎn)換元件的集成，壓力微傳感器的結構具有體積小，固有頻率高的特性，可以測量各種頻率范圍內(nèi)的脈動壓力。不同偏置電壓下傳感器的靈敏度�？烧{(diào)整靈敏度。的微壓力傳感器的結構相同，如果敏感元件是硅或銅鎳合金壓敏電阻，對0.38x104v / o.17 M×104v /米。可以看出，基于共振隧穿二極管的微壓力傳感器的靈敏度比傳統(tǒng)的傳感器更靈敏的敏感性。 |
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